無(wú)油真空泵是一種無(wú)需任何油作光滑就能運(yùn)轉(zhuǎn)作業(yè)的機(jī)械真空泵。它具有操作容易、保護(hù)便利、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略、不會(huì)污染環(huán)境等長(zhǎng)處，無(wú)油真空泵耐用性好，是壓縮，抽真空，兩用真空泵，是一種應(yīng)用規(guī)模非常廣泛取得真空的基本設(shè)備。

　　無(wú)油真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，移動(dòng)便利，易于裝置，保護(hù)簡(jiǎn)略，不產(chǎn)生油煙，不污染環(huán)境，尤其在要求較高的實(shí)驗(yàn)室運(yùn)用較好。也是實(shí)驗(yàn)室最常備的設(shè)備之一。

　　因而在選購(gòu)無(wú)油真空泵時(shí)要先確定要求作業(yè)的真空度，不然達(dá)不到抽真空的要求，就會(huì)達(dá)不到作業(yè)要求。其次是無(wú)油真空泵抽氣速率，選型時(shí)就要稍大于所需求的抽氣速率，假如需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，這樣就能更好的滿足需求。最后看抽取的氣體有無(wú)腐蝕性，有腐蝕的氣體會(huì)腐蝕泵，必須要用特殊的材質(zhì)才干滿足需求。

    由無(wú)油真空泵的定義得知, 為滿足杰出的環(huán)境，其抽氣腔是無(wú)油的。但機(jī)械傳動(dòng)部分還需油類光滑, 例如多級(jí)無(wú)油真空泵、爪型泵和螺桿型干式泵等。其傳動(dòng)齒輪的軸承都需求光滑。利用迷宮式密封結(jié)構(gòu), 去阻隔泵腔和齒輪箱等部位, 比較簡(jiǎn)略的方法是在泵腔和需求光滑的部位之間充入枯燥的惰性氣體, 或裝置密封圈。

　　必定要有杰出的防返流辦法才行，大部分無(wú)油真空泵在低壓下運(yùn)用，而迷宮式結(jié)構(gòu)能防止光滑油進(jìn)入泵腔, 但有可能使氣體經(jīng)過(guò), 由于齒輪箱中的氣體壓力不受約束, 假如齒輪箱內(nèi)的氣體壓力大于泵腔內(nèi)的壓力, 有壓力梯度存在就會(huì)出現(xiàn)齒輪箱內(nèi)油蒸汽向泵腔內(nèi)的擴(kuò)散。因而對(duì)無(wú)油真空泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要好好考慮, 將齒輪箱中的油池面上,進(jìn)行減壓預(yù)抽, 控制齒輪箱中的氣體壓力, 并經(jīng)過(guò)唇形密封圈, 將油池與泵腔阻隔，防止污染被抽氣體。